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測(cè)試與測(cè)量?jī)x器專家
光學(xué)文章
膜厚測(cè)試之薄膜反射干涉法和橢偏光譜法

發(fā)布時(shí)間: 2015-08-07   瀏覽次數(shù):   作者:邁昂科技

      屏幕顯示行業(yè)越來(lái)越火,隨之對(duì)鍍膜工藝的要求也越來(lái)越高,膜厚測(cè)試的需求也變得越來(lái)越多。膜厚測(cè)試有很多種方法,今天我給大家介紹無(wú)損檢測(cè)的兩種光學(xué)測(cè)試方法:薄膜反射干涉法和橢偏光譜法。


一、薄膜反射干涉測(cè)量膜厚
      測(cè)量原理:入射光經(jīng)薄膜上表面反射后得到第一束光,折射光經(jīng)薄膜下表面反射又經(jīng)上表面折射后得到第二束光,這兩束光在薄膜的同側(cè),由同一入射振動(dòng)分出,是相干光,當(dāng)兩束光相遇時(shí)會(huì)產(chǎn)生干涉。



根據(jù)公式:
       Δ=2ntcos(θt)±λ/2
      式中n為薄膜的折射率,t為入射點(diǎn)的薄膜厚度,θt為薄膜內(nèi)的折射角,±λ/2 是由于兩束相干光在性質(zhì)不同的兩個(gè)界面(一個(gè)是光疏-光密界面,另一是光密-光疏界面)上反射而引起的附加光程差。


      系統(tǒng)配置:光譜儀、光源、反射探頭、支架、標(biāo)定硅片
      優(yōu)點(diǎn):適用于大部分已知n、k系數(shù)的介質(zhì)的透明、半透明材料,且成本相對(duì)低。(需要知道測(cè)試樣品的n、k值,才能測(cè)得膜厚)



干涉法軟件界面-海洋光學(xué)

二、橢偏光譜法測(cè)量膜厚



      測(cè)量原理:光源經(jīng)過(guò)起偏器和濾鏡后得到已知入射光的偏振態(tài),偏振光在樣品表面被反射,測(cè)量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位),可計(jì)算出材料的光學(xué)屬性,包括膜厚、透過(guò)率、消光系數(shù)等。
橢偏儀測(cè)量的公式比較復(fù)雜,不在這里展開(kāi)。需要了解的請(qǐng)直接聯(lián)系我們。


      系統(tǒng)配置:光源、起偏器、濾片、檢偏器、光譜儀。
      優(yōu)點(diǎn):測(cè)量精度高,可以測(cè)量超薄膜的膜厚,可以測(cè)得多層介質(zhì)的n、k系數(shù)。


橢偏法軟件界面-海洋光學(xué)

      邁昂科技是海洋光學(xué)(Ocean Optics)代理商,提供海洋光學(xué)全系列的測(cè)試解決方案。海洋光學(xué)是領(lǐng)先的光傳感解決方案提供商,是微型光纖光譜儀的發(fā)明者,擁有全面的產(chǎn)品線,包括光譜儀,化學(xué)傳感器,光纖,薄膜和光學(xué)元件等。目前海洋光學(xué)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)研究、環(huán)境檢測(cè)、生命科學(xué)、教育、照明和顯示等諸多領(lǐng)域。
 
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